Технологический процесс

Отмывка пластин перед напылением Al(металл-1)

1. Налить в ванну раствор ПАР-5 до метки.

2. Нагреть раствор до температуры 75±5°С.

3. Загрузить пластины в кассету из тары методом опрокидывания. Записать в сопроводительном листе количество поступивших пластин, дату, фамилию и время начала операции.

4. Погрузить с помощью захвата кассеты с пластинами в ПАР-5

5. Выдержать операционные кассеты с пластинами в растворе 10±1мин.

6. Перенести кассеты с пластинами в стоп-ванну.

7. Перенести кассеты с пластинами в ванны финишной отмывки и промыть до удельного сопротивления не менее 15 Мом•см.

8. Перенести кассеты с пластинами к установке отмывки и сушки, не вынося за пределы обеспыленной зоны.

Примечание. Сливать раствор после обработки в нем не более 200 пластин.

9. Провести освежение пластин в травителе №3, проконтролировать качество освежения по скатываемости травителя с пластин.

10. повторить пункт 6

11. повторить пункт 7

12. повторить пункт 8

13. Проверить под микроскопом толщину пленки(по цвету конденсата) и запариваемость.

14. Если пластины запариваются, то значит они освежились нормально, если не запариваются нужно произвезти доосвежение пластин(в тр.№3) и повторить операции 6, 7, 8, 13.

15. Записать в сопроводительный лист количество годных пластин, толщину пленки(если надо) и время конца операции.

16. Передать готовые пластины далее по маршруту.

Отмывка пластин перед напылением Al(металл-2)

1. Загрузить пластины в кассету из тары методом опрокидывания. Записать в сопроводительном листе количество поступивших пластин, дату, фамилию и время начала операции.

2. Погрузить с помощью захвата кассеты с пластинами в ванну с холодной серной кислотой на 5 мин.

3. Перенести кассеты с пластинами в стоп-ванну.

4. Перенести кассеты с пластинами в ванны финишной отмывки и промыть до удельного сопротивления не менее 15 Мом•см.

5. Перенести кассеты с пластинами к установке отмывки и сушки, не вынося за пределы обеспыленной зоны.

Примечание. Сливать раствор после обработки в нем не более 200 пластин.

6. Погрузить кассеты с пластинами в травитель №27 на 14 мин.

7. повторить пункт 3

8. повторить пункт 4

9. повторить пункт 5

10. Проверить под микроскопом внешний вид пластин, чтобы не было подтравливаний контактных площадок (в случае этого контактные площадки потемнеют).

11. Записать в сопроводительный лист количество годных пластин, время освежения в травителе(если надо) и время конца операции.

12. Передать готовые пластины далее по маршруту.