Контроль полноты удаления пленки методом конденсации пара

· Налейте воду в кварцевый увлажнитель. Объем воды должен быть в процессы контроля в пределах от 100 до 300 мл.

· Откройте вентиль подачи осушенного и очищенного сжатого воздуха.

· Продуйте систему сжатым воздухом в течение 5-10 минут для чего трехходовый кран увлажнителя поставьте в положение «воздух-пластина».

· Переставьте кран в положение «воздух-пар-пластина».

· Включите в сеть систему «электроплитка – контактный термометр».

· Контроль производите при температуре пара 50-85°С

· При достижении заданной температуры отрегулируйте струйку пара на постоянный поток с помощью индикатора расхода. Расход воздуха по индикатору расхода ротаметрическому регулируется в пределах 40-80л/час.

· Включите освещение микроскопа. Возьмите пинцетом пластину и положите на предметный столик микроскопа рабочей стороной вверх.

· Направте пипетку капельницы со струей увлажненного паром воздуха на рабочую поверхность пластины.

· Проследите в микроскоп за конденсацией пара в 3-5 точках в центре и по краям пластин. В окнах должно наблюдатьсяобразование нерастекающих капель воды, если пленка окисла вытравлена полностью, и растекающейся водной радужной пленки, если окисел остался.

Произведится доосвежение пластин или передается далее по маршруту.

Проверка пластин перед напылением металлов допускается:

· не более 10-ти светящихся точек в поле зрения микроскопа, относящихся к загрязнениям, не исчезающих в светлом поле микроскопа;

· наличие мелкой равномерной сыпи;

· дефекты фотолитографии (островки окисла, дырки в окисле) не более одного бракованного поля из пяти просмотренных;

· локальные области с неравномерным окислом менее 50 структур по площади.

· мелкая равномерная сыпь в местах легирования бором и на скрайберных дорожках.

Вид обработки. Загрязнения на пластине, не более _ светящихся точек, штук в поле зрения микроскопа:

· Перед напылением нихрома, молибдена - 7

· Перед напылением алюминия - 8