Сквозное обеднение канала

В короткоканальных (L<1мкм) и слаболегированных (N_n< ) приборах пробой, как правило, наступает при меньшей величине напряжения, чем рассчитанное по формуле (4.70). Это связано с одним из механизмов пробоя — сквозное обеднение (смыкание истокового и стокового переходов). Сквозное обеднение происходит при таком взаимодействии обедненных областей истока и стока, которое снижает потенциальный барьер между ними, препятствующий протеканию электронного тока.

Известно, что когда напряжение на стоке достигает насыщения , ширина обедненного слоя не остается постоянной, а зависит от приложенного к нему напряжения :

(4.71)

Когда величина напряжения на стоке U_cи станет равной напряжению пробоя, вызывающему сквозное обеднение U_пр.о, то длина канала L =Xd, следовательно:

(4.72)

При малых величинах L и N_n напряжение пробоя U_пp.o, вызывающее сквозное обеднение, намного меньше, чем напряжение лавинного пробоя U_пр.лав.