Студопедия

КАТЕГОРИИ:

АвтомобилиАстрономияБиологияГеографияДом и садДругие языкиДругоеИнформатикаИсторияКультураЛитератураЛогикаМатематикаМедицинаМеталлургияМеханикаОбразованиеОхрана трудаПедагогикаПолитикаПравоПсихологияРелигияРиторикаСоциологияСпортСтроительствоТехнологияТуризмФизикаФилософияФинансыХимияЧерчениеЭкологияЭкономикаЭлектроника



Пороговое напряжение узкоканальных транзисторов




Канал МОПТ считается узким, если ширина канала (расстояние между областями изолирующего окисла) имеет тот же порядок величины, что и толщина обедненной области, которую затвор индуцирует под каналом. Для типичного распределения легирующей примеси узкой может считаться ширина менее 4 мкм. Малая ширина канала может существенным образом сказываться на поведении прибора.

Прямое влияние малой ширины выражается в увеличении порогового напряжения по мере уменьшения ширины канала. В случае структуры, полученной по технологии с локальным окислением кремния (LOCOS) увеличение порогового напряжения, происходящее по мере уменьшения ширины, может быть объяснено следующим образом. Когда край обедненной области приближается к краю прибора, происходит переход от глубокого обеднения под затвором к обедненной области под толстым окислом, имеющей малую глубину. Эта переходная область показана на рис.4.23. Следует отметить, что переход не является резким, как это предполагалось при выводе классического выражения дляUпор.В переходной области имеются дополнительные заряды, на которых заканчивается подзатворное поле. В случае большой ширины суммарная величина этих зарядов по отношению к заряду в остальном объеме невелика, и ею можно пренебречь. Но по мере уменьшения ширины относительная роль этих зарядов возрастает и становится существенной. Эти дополнительные заряды увеличивают суммарный заряд в объеме и приводят к ростуUпор. В этом случае говорят о нормальном эффекте узкого канала.

В окончательном виде выражение, учитывающее влияние малой ширины, может быть получено путем добавления этого суммарного дополнительного заряда к величине объемного заряда обедненного слоя в классическое выражение дляUпор.

Рисунок 4.23 – Поперечное сечение по ширине МОПТ, на котором показаны реальная и идеальная формы обедненной области

Величина дополнительного заряда для каждой переходной области равна:

(4.59)

где δ – это подгоночный параметр, учитывающий форму переходной области.

Учет дополнительного заряда с обеих сторон канала дает дополнительный вклад в пороговое напряжение, равный:

(4.60)

Поэтому для МОПТ с узким каналом и однородным легированием пороговое напряжение равно:

(4.61)

Полагая эту кривую часть области пространственного заряда цилиндрической, для полного заряда области обеднения будем иметь:

, a . (4.62)

Для того чтобы дополнительно увеличить пороговое напряжение в областях под толстым слоем защитного окисла, создается сильнолегированная область, называемая ограничителем канала. Во время проведения высокотемпературных технологических операций примеси, легирующие эту область, будут проникать в канал, еще больше увеличивая плотность объемного заряда в обедненных областях у боковых сторон канала. В том же направлении, что и это проникновение легирующих примесей, действуют некоторые технологические операции, приводящие к образованию клина на границе между тонким и толстым окислом. Этот клин приводит к появлению структуры, напоминающей птичий клюв и известной под этим названием. Дополнительный заряд, накопленный под этой клиновидной частью окисла, еще больше увеличиваетUпор. Кроме того, следует отметить, что «птичий клюв» увеличивает то минимальное расстояние, которое необходимо иметь между приборами, и поэтому приводит к дополнительным потерям площади кристалла.

Чтобы избавиться от потерь площади между приборами, были разработаны приборы с новой структурой изолирующего окисла. Эта структура, показанная на рис.4.24, называется структурой с полностью погруженным изолирующим окислом. Она не только позволяет добиться очень высокой плотности упаковки, но и по своим электрическим характеристикам отличается от структур с непогруженным и частично погруженным изолирующим окислом. На рис.4.24 изображены также силовые линии электрического поля под затвором. Электрод затвора перекрывает область канала и заходит за ее края. Поэтому имеет место краевой эффект: силовые линии поля в толстом окисле не идут вглубь, а заканчиваются на боковых стенках окисла. Это увеличивает концентрацию силовых линий у краев и приводит к тому, что обеднение боковых областей происходит при меньших значенияхUзи, чем в середине канала. Таким образом, в боковых участках канал возникает при меньшем напряжении затвора и, следовательно, пороговое напряжение заметно уменьшается. Это снижение Uпор, сопровождающее уменьшение ширины, получило название обратного влияния малой ширины.

Рисунок 4.24 – Поперечное сечение по ширине МОПТ с полностью погруженным изолирующим окислом

Емкость затвораобычно рассчитывается в соответствии с идеальным приближением плоского конденсатора с параллельными обкладками. Для прибора, показанного на рис.4.24, концентрация поля у краев, которой пренебрегают при рассмотрении идеального конденсатора, играет существенную роль и должна быть учтена при расчете емкости затвора. Моделируя суммарную емкость затвора C3 как емкость плоской части затвора, параллельно с которой включены две емкости боковых стенок, обычно считают, что заряд на границе раздела с кремнием как тонкого, так и защитного окисла считается однородным и постоянным. Поэтому суммарная емкость затвора равна:

 

(4.63)

где Cf– это емкость, связанная с полем, сконцентрированным на боковых стенках.

Для МОПТ с длинным и узким каналом можно показать, что:

(4.64)

гдеdи.ok – толщина изолирующего окисла,

dok– толщина подзатворного окисла.

 

Поэтому суммарная емкость затвора может быть выражена как

или (4.65)

где фактор F, учитывающий краевой эффект, равен .

Таким образом, пороговое напряжение для n-канального МОПТ с данным узким каналом равно:

(4.66)

Дата добавления: 2014-11-13; просмотров: 21; Нарушение авторских прав





lektsii.com - Лекции.Ком - 2014-2022 год. (0.007 сек.) Все материалы представленные на сайте исключительно с целью ознакомления читателями и не преследуют коммерческих целей или нарушение авторских прав
Главная страница Случайная страница Контакты