Градуювання вакуумметрів.

Існують два основні методи градуювання вакуумметрів: статичний і динамічний. При використанні статичного методу градуйований вакуумметр під'єднується до вакуумної камери поблизу від зразкового (еталонного) і проводиться порівняння свідчень обох приладів в умовах рівноваги.

Камера повинна бути сконструйована таким чином, щоб гарантувати однаковий тиск по всьому об'єму (іншими словами, неприпустима наявність в камері якихось потоків газу). Крім того, вакуумна система повинна забезпечувати досягнення і збереження значно більш низького тиску в порівнянні з необхідним для проведення вимірювань.

Цей метод найбільш доцільно використовувати для вакуумметрів з робочим діапазоном вимірювань від 10 до 10^-3 Па, тобто при таких тисках, зазвичай використовують скляні відпаяні системи. Для таких вакуумметрів може бути досягнута точність краще ± 1%.

Однак для надвисоких вакуумметрів виконання перерахованих вище умов практично неможливо, що пояснюється наступними причинами. По-перше, єдиними вакуумметрами, які можуть бути використані в якості зразкових, є динамічні і радіометричні вакуумметри, нижня межа вимірювання тиску для яких становить близько 10^-7 Па.

Тому в разі приладів, призначених для умов надвисокого вакууму, доводиться покладатися на градуювання за допомогою вторинних еталонів (попередньо відградуйованих іонізаційних вакуумметрів) або використовувати метод екстраполяції до більш низьких тисків.

По-друге, необхідно, щоб залишковий тиск в системі був нижче 10^-8 Па, досягнення якого і для відпаєних систем непростий, крім того, потрібно точно знати склад використовуваного при градуюванні газу, що не завжди вдається. Проте цей метод використовується і призводить до задовільного результату. Особливо цей метод корисний при перевірці чутливості і градуюванні вакуумметрів серійного виробництва. Проблема атестації вакуумметрів може бути частково вирішена за допомогою методу об'ємного розширення.

Суть цього методу зводиться до того, що невелика кількість газу відомого обсягу, що знаходиться при тиску вище 10^-3 Па (яке може бути виміряне з досить високим ступенем точності), розширюється в камері відомого (великого) обсягу, до якої підключено градуйований вакуумметр. Після розширення та встановлення рівноваги тиск газу визначається за законом Бойля – Маріотта на підставі відомого співвідношення обсягів, величина якого може досягати 10⁷. Цей метод можна використовувати або багаторазово для двох камер, або для декількох послідовних камер з меншими значеннями співвідношення обсягів.