![]() КАТЕГОРИИ:
АстрономияБиологияГеографияДругие языкиДругоеИнформатикаИсторияКультураЛитератураЛогикаМатематикаМедицинаМеханикаОбразованиеОхрана трудаПедагогикаПолитикаПравоПсихологияРиторикаСоциологияСпортСтроительствоТехнологияФизикаФилософияФинансыХимияЧерчениеЭкологияЭкономикаЭлектроника
|
Подвижность и механизмы рассеяния носителей в каналеПодвижность носителей в канале определяется, главным образом, тремя механизмами рассеяния: - рассеяние на заряженных центрах - рассеяние на фононах - рассеяние на шероховатостях границы раздела Иногда различают подвижность проводимости и подвижность эффекта поля. Подвижность проводимости определяется по наклону крутой области выходной ВАХ:
В режиме сильной инверсии Из-за наличия прижимающего поля в канале подвижность в нём можно характеризовать рассеянием на ионизированных примесях (кулоновское рассеяние), на колебаниях кристаллической решётки (на объёмных и приграничных фононах) и рассеянием на неровностях поверхности. Идеальная граница раздела кремний-окисел отражает электроны зеркальным образом и не вносит вклад в рассеяние. Реальная поверхность раздела кремний-окисел имеет несовершенства (шероховатость), которое обуславливает случайный характер рассеяния носителей. Подвижность обусловленная рассеянием на неровностях поверхности пропорциональна времени столкновения с поверхностью:
Видно, что подвижность, обусловленная рассеянием на шероховатости поверхности, падает с возрастанием прижимающего электрического поля в канале. Если предположить, что все механизмы рассеяния независимы, то эффективную подвижность носителей в канале можно записать так:
В надпороговом режиме (когда ) эффективная подвижность начинает падать в основном из-за рассеяния на неровностях поверхности (рис.4.9). Для этих величин поля подвижность часто определяют с помощью выражения:
Рисунок 4.9– Схематическое представление зависимости подвижности в канале от прижимающего поля для разных механизмов рассеяния Где эмпирические параметры Построив график зависимости Рисунок 4.10 – определение Понятно, что с уменьшением проектной нормы величина прижимающего электрического поля возрастает, и подвижность носителей в канале падает.
|