ОБЛАДНАННЯ ДЛЯ РІЗАННЯ . ЗЛИТКІВ НА ПЛАСТИНИ

Для розділення злитка на пластини застосовується різка полотнами або алмазним диском з внутрішньої ріжучої крайкою . Різка полотнами ( рис. 2.5 , а) має меншу продуктивність , але повністю не витиснена завдяки високій якості різу ( меншій глибині порушеного шару , меншою ймовірності сколів і тріщин ) і застосовується в основному в особливих випадках , а саме: в експериментальному виробництві при малих вимогах до продуктивності , при розрізанні дорогих і тендітних напівпровідникових матеріалів , при розрізанні злитків великих діаметрів (більше 100 ... 150 мм) і прямокутної форми.

Останнім часом відроджується інтерес до цього способу різки завдяки застосуванню полотен з вкрапленими алмазними зернами.

Для різання злитків діаметром 76-100 мм алмазним диском з внутрішньої ріжучої крайкою використовують верстат "Алмаз -6М "( рис. 10) , на станині 1 якого встановлена ​​тумба 24 , що вміщає гідравлічний механізм подачі 23 шпинделя 19. У передній частині станини розташований блок електрообладнання , в задній – пнемо-гідравлічна апаратура . На тумбі встановлено коромисло 11 , яке гойдається при переміщенні штока 22 гідроциліндра , забезпечуючи при різанні робочу подачу диска на злиток в межах від 6 до 200 мм / хв і відвід диска після відрізання пластини. регулювання швидкості робочої подачі безступінчасте . На коромислі знаходиться електродвигун 21 шпинделя , що приводить його в обертання з частотою 1000-2500 об / хв через плоско ремінну передачу 12 . Регулювання частоти обертання без ступінчате . На шпинделі закріплений барабан ( мал. 11 ), що несе на собі алмазний диск з внутрішньої ріжучої крайкою . Диск в процесі різання захищений кожухом 20 ( див. рис. 10). На тумбі закріплені

пульт управління 3 та гідравлічна панель 2 , що дозволяють керувати станком і здійснювати його його включення і виключення.

На станині розміщені також циліндри подачі і відведення столу

4 від диска після закінчення різання. Каретка 5 механізму поперечної подачі дозволяє установлювати злиток по відношенню до ріжучого інструменту в направленні поперечної подачі і переміщати його на крок за допомогою крокового двигуна .

На столі 6 знаходиться механізм повороту 16 злитка в горизонтальній площині. Корпус 9 повертається навколо осі 7 , а за шкалою 8 фіксується кут повороту в межах ± 10 °. У вертикальній площині тримач зі злитком повертається навколо осі 17 в межах кута ± 7 ° , відлічуваного за шкалою 10 . Видаляють відрізані пластини вакуумною присоскою 18 яка

може повертатися , висуватися на потрібну висоту , залежно від діаметра оброблюваного злитка , і здійснювати зворотно-поступальні переміщення. Зняті присоскою пластини потрапляють на конвеєр 14 і стрічкою 13 пере -

носяться до збірки 75 , заповнений водою.

У зону різання безперервно подається змащувально- охолоджуюча рідина , яка піддається регенерації на станції очищення .

Верстат '' Алмаз -11 " має аналогічний пристрій , але дозволяєляє виробляти різання з обертанням злитка. Для різання злитків діаметром до 200 мм використовують ста нок "Алмаз - 12М " , у якого робоча подача здійснюється не хитанням сережки зі шпинделем , а за рахунок підйому держателя зі злитком . Верстат має автоматичні системи : змінної подачі , зміни частоти обертання шпинделя і контролю відхилення товщини пластин з керуванням від мікроЕВМ. Він оснащений механізмом автоматичного завантаження відрізуваних пластин в касети, пристроями попередньої відмивання пластин і контролю деформацій ріжучої кромки.